技术频道

娓娓工业
您现在的位置: 中国传动网 > > > 伊玛电容式传感器在半导体清洗设备药液清洗的应用实例

伊玛电容式传感器在半导体清洗设备药液清洗的应用实例

时间:2022-12-26 15:27:27来源:伊玛

导语:​这里主要介绍半导体其中的清洗设备——半导体湿法腐蚀机。清洗设备必须保证优质的清洗效果,无交叉感染的风险,准确地供给化学药液,可广泛应用于不同种晶圆的清洗工艺。

    在许多半导体元器件的制造中,整个制程的环节紧紧相扣, 每一个步骤对于良率的生产起到一定的作用。这里主要介绍半导体其中的清洗设备——半导体湿法腐蚀机。清洗设备必须保证优质的清洗效果,无交叉感染的风险,准确地供给化学药液,可广泛应用于不同种晶圆的清洗工艺。

  半导体清洗设备: 半导体湿法腐蚀机

  生产半导体器件专用清洗设备,需要检测清洗液的高低液位。因清洗液具有强酸或强碱的腐蚀性,所以需要非接触方式检测。

  清洗液多为强酸,有时也会有强碱,清洗槽材质为聚乙烯(PE)或聚四氟乙烯(PTFE)。

  由于不直接接触腐蚀性的液体, 避免因为接触造成表面壳体腐蚀, 进而影响到使用寿命, 因此伊玛的电容式传感器本身必须具备优良的穿透能力,即使容器壁厚10mm, 也能轻松穿透, 感应到容器内的液体。

  用户以前使用投入式差压液位计,对传感器耐腐蚀性要求很高,成本也较高。伊玛的应用工程师推荐使用M30电容接近开关CB0006,并做了一些应用工艺的升级,替客户大大降低了成本。

  该用户在外部安装架上的精巧设计,具备长槽,可以很方便地调整电容传感器的高度,且不用考虑产品腐蚀问题。

半导体湿法腐蚀机.png

  伊玛电容式接近传感器

太阳集团app下载  伊玛M30电容接近开关CB0006具有以下特点:

太阳集团app下载  • 非接触式安装;

  • 另有防腐蚀材质, 也能直接接触介质;

  • 可穿透非金属的容器,如塑料、玻璃,无须接触到容器内的腐蚀性液体;

太阳集团app下载  • 多种尺寸可选:M18/M30/Ø34/扁平式;

太阳集团app下载  • 侦测物可包括:液体、固体、粉体;

  • 可视为液位传感器:适用于高低位的液位检测。

伊玛电容接近开关1.png

伊玛电容接近开关2.png

伊玛电容接近开关

  半导体的清洗工艺主要用于去除芯片制造中上一道工序所遗留的超微细颗粒污染物、金属残留、有机物残留物, 去除光阻掩膜或残留,也可根据需要进行硅氧化膜、氮化硅或金属等薄膜材料的湿法腐蚀,为下一步工序准备好良好的表面条件。清洗一般采用化学和物理作用力相结合的方法实现,在清洗时既要有很好的腐蚀选择性,高效地去除超微细颗粒物及各种残留物的能力,又不能对芯片表面的精细图形结构造成损伤。湿法腐蚀速率,腐蚀均匀性,晶圆正、反面交叉污染的控制,清洗效率等都是至关重要的工艺要素。目前市场上可提供多种类型的单片清洗设备和槽式清洗设备, 并已被广泛应用于半导体、集成电路、先进封装、微机电系统、电力电子、化合物和功率器件等领域。


标签:太阳集团app下载

点赞

分享到:

上一篇:

下一篇:

太阳集团app下载中国传动网版权与免责声明:凡本网注明[来源:中国传动网]的所有文字、图片、音视和视频文件,版权均为中国传动网(animemultimedia.com)独家所有。如需转载请与0755-82949061联系。任何媒体、网站或个人转载使用时须注明来源“中国传动网”,违反者本网将追究其法律责任。

太阳集团app下载本网转载并注明其他来源的稿件,均来自互联网或业内投稿人士,版权属于原版权人。转载请保留稿件来源及作者,禁止擅自篡改,违者自负版权法律责任。

相关资讯

网站简介|会员服务|联系方式|帮助信息|版权信息|网站地图|友情链接|法律支持|意见反馈|sitemap

中国传动网-工业自动化与智能制造的全媒体“互联网+”创新服务平台

Chuandong.com Copyright ©2005 - 2023 ,All Rights Reserved 版权所有 | 营业执照证书 | |

龙8体育官方app-APP安卓版 龙8国际pt官方网站-手机端APP下载 银河999官网下载安装-APP下载官网 开云体育网址在线登录-新版本下载 银河app官方下载网址-APP标准版 云顶国际游戏平台app-新版APP下载